Simple Evaporator for Metal Evaporation Mounted on a Conflat Flange with an Outer Diameter of 70 mm

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Shinkū 2008, Vol.51 (2), p.99-101
Hauptverfasser:	IIJIMA, Chihiro, MASE, Kazuhiko, OKUSAWA, Makoto
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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