The effect of axial stiffness of cutoff diamond wheels on nonflatness of cut wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of superhard materials 2007-10, Vol.29 (5), p.319-322
Hauptverfasser:	Eroshin, S. S., Petasyuk, G. A., Tarashchanskii, M. T.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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