The effect of dynamically unstable channeling on off-axis ion implantation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physical studies 2009, Vol.13 (1), Article 1601
Hauptverfasser:	Bratchenko, M. I., Bakai, A. S., Dyuldya, S. V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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