Development of a Millimeter-Stroke Electrothermal Kirigami MEMS Actuator with Low Driving Power-Static and Dynamic Thermomechanical Characteristic of Film Bimorph

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Netsu bussei 2020, Vol.34 (4), p.109-116
Hauptverfasser:	Hashimoto, Masaaki, Taguchi, Yoshihiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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