A review on monolithic 3D integration: From bulk semiconductors to low-dimensional materials

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nano research 2024-12
Hauptverfasser:	Hu, Ziying, Li, Hongtao, Zhang, Mingdi, Jin, Zeming, Li, Jixiang, Fu, Wenku, Dai, Yunyun, Huang, Yuan, Liu, Xia, Wang, Yeliang
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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