Study of the electron lithography parameters by AFM

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vestnik. Seriâ fizičeskaâ 2019, Vol.68 (1), p.81-90
Hauptverfasser:	Myrzabekova, M.М., Guseinov, N.R., Zaitsev, S.I., Shabelnikova, Ya.L., Muratov, M.M., Muradova, S.R., Turarbaeva, T.B.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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