FEATURES OF THE STRUCTURAL PHASE STATE OF A FILM BASED ON A HIGH-ENTROPY AlNbTiZrCu ALLOY SYNTHESIZED BY DEPOSITION OF A MULTIELEMENT METAL PLASMA

В данной работе приведены результаты структурных исследований пленок толщиной до 5 мкм высокоэнтропийных сплавов системы AlNbTiZrCu . Пленки были синтезированы на металлических и металлокерамических подложках путем осаждения многоэлементной металлической плазмы, созданной электродуговым плазменно ассистированным одновременным независимым распылением нескольких катодов. Показано, что пленки являются слоистым материалом и имеют аморфнокристаллическую структуру. Установлено, что облучение пленок импульсным электронным пучком (18 кэВ, 20 Дж/см, 50 мкс, 3 имп., 0,3 с) сопровождается кристаллизацией материала. Показано, что в полученных пленках доминирует соединение состава AlNbTiZr с параметром решетки 0,32344 нм. На основе теоретических расчетов получены структурные данные кристаллической решетки AlTiZrNb и определены механические и термодинамические характеристики этого соединения. This paper presents the results of structural studies of films with a thickness of up to 5 microns of high-entropy alloys of the AlNbTiZrCu system. The films were synthesized on metal and cermet substrates by deposition of a multielement metal plasma created by electric arc plasma assisted simultaneous independent sputtering of several cathodes. It is shown that the films are a layered material and have an amorphous-crystalline structure. It was found that irradiation of films with a pulsed electron beam (18 keV, 20 J/cm, 50 gs, 3 imp., 0,3 s) is accompanied by crystallization of the material. It is shown that the resulting films are dominated by the compound of the AlNbTiZr composition with the lattice parameter of 0,32344 nm. On the basis of theoretical calculations, the structural data of the crystal AlTiZrNb lattice were obtained, mechanical and thermodynamic characteristics of this compound were determined.