Synthesis of thin layer of fluorinated polymer by laser CVD. Direct synthesis of perfluoropolyether thin film on surface by oxidative polymerization of a perfluoropropene-oxygen mixture using an ArF excimer laser

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of photopolymer science and technology 1993, Vol.6 (3), p.421-428
Hauptverfasser:	MAJIMA, TETSURO, SUGITA, KYOKO, NAKAO, AIKO, MATSUNUMA, SATOSHI, ABE, KATSUO
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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