Block Copolymers for DSA in the 100 ^|^Aring; Regime

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of photopolymer science and technology 2014, Vol.27 (4), p.415-418
Hauptverfasser:	Willson, C. Grant, Blachut, Gregory, Maher, Michael J., Durand, William J., Bates, Christopher M., Carlson, Matthew C., Self, Jeffrey L., Lane, Austin P., Asano, Yusuke, Sirard, Stephen, Hayes, Colin O., Ellison, Christopher J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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