The Impact of Fluoropolymers on Line Edge Roughness in 193nm Imaging

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of photopolymer science and technology 2005, Vol.18 (4), p.467-469
Hauptverfasser:	Zumsteg, F. C., Leffew, K. W., Feiring, A. E., Crawsfored, M. K., Fahnham, W. B., Petrov, V. A., Schadt III, 1, Tran, H. V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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