Development of a Micro-step XY.THETA. Stage Using Piezoelectric Tube Actuators

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Seimitsu Kōgakkaishi 1994, Vol.60 (12), p.1736-1740
Hauptverfasser:	Hara, Sigeji, Iyoki, Masato, Kaneko, Reizo, Matsuda, Ryuichi, Itao, Kiyoshi
Format:	Artikel
Sprache:	jpn
Online-Zugang:	Volltext
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