Low Temperature Fabrication of AlN Film by Irradiation of Low Energy Ion Beam

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Seimitsu Kōgakkaishi 1994, Vol.60 (7), p.1029-1033
Hauptverfasser:	KIYAMA, Seiichi, HIRANO, Hitoshi, DOMOTO, Yoichi, KURAMOTO, Keiichi, KUROKAWA, Michihiro, SUZUKI, Ryuji, OSUMI, Masato
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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