Bending Tests for Polysilicon Microelements with a Help of in situ SPM Imaging

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Zairyō 2007, Vol.56 (10), p.945-950
Hauptverfasser:	TANAKA, Kazuto, TAKAMORI, Akira, IMOTO, Takehiro, MINOSHIMA, Kohji, KATAYAMA, Tsutao
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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