A Local Stress Analysis Technology for ULSIs using a Micro Focused X-ray Spectrometer and a Computer Simulation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Bulletin of the Japan Institute of Metals 1990/04/20, Vol.29(4), pp.256-258
Hauptverfasser:	Yamamoto, N., Sakata, S., Hosokawa, Y., Takano, Y.
Format:	Artikel
Sprache:	jpn
Online-Zugang:	Volltext
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