Properties and Applications for Thin Films of and New Materials

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Bulletin of the Japan Institute of Metals 1984/10/20, Vol.23(10), pp.812-817
1. Verfasser:	Huang, Yen C.
Format:	Artikel
Sprache:	jpn
Schlagworte:	carbides ceramcis ceramics coatinffs chemical vapor deposition new materials nitrides oxides physical vapor deposition thin films
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!