Impedance of Electrodeless RF Spherical Light Source with Plasma Uniformity

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Shomei Gakkai shi 2001-02, Vol.85 (2), p.113-119
Hauptverfasser:	Kawaguchi, Motoichi, Toho, Makoto
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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