Математическое моделирование и оптимизация процесса формирования функциональных тонких пленок

В работе рассмотрены математическое моделирование и оптимизация технологического процесса получения функциональных тонких пленок на примере Mo-Se электрохимическим методом. Исследование проводилось потенциодинамическим, потенциостатическим и гальваностатическим методами в различных условиях на Pt и Ni электродах. Математические расчеты были выполнены в программном пакете с использованием специально разработанного для этого процесса программного обеспечения. С изучением влияний различных факторов (концентрации исходных компонентов, температуры, плотности тока и т.д.) были выбраны оптимальный режим электролиза и состав электролита для процесса совместного осаждения. Проведен статистический анализ полученного уравнения регрессии, вычислена средняя ошибка аппроксимации, оценено среднеквадратичное отклонение. Для оценки построенного уравнения множественной регрессии вычислены критерии Фишера и оценены коэффициенты регрессии. Полученное уравнение регрессии определяет содержание электролита и условия электролиза, которые позволяют осаждать сплав Mo-Se, содержащий в составе необходимое количество Mo. The paper considers mathematical modeling and optimization of the technological process for obtaining functional Mo-Se thin films by the electrochemical method. The study was carried out by potentiodynamic, potentiostatic and galvanostatic methods, under various conditions on Pt and Ni electrodes. Mathematical calculations were performed in a software package using software specially developed for this process. By studying the effects of various factors (concentration of initial components, temperature, current density, etc.), the optimal electrolysis mode and electrolyte composition for the codeposition process were chosen. A statistical analysis of the resulting regression equation was carried out, the average approximation error was calculated, and the standard deviation was estimated. To evaluate the constructed multiple regression equation, Fisher's test was calculated and the regression coefficients were estimated. The resulting regression equation determines the electrolyte content and electrolysis conditions, which allows the deposition of the Mo-Se alloy containing the required amount of Mo.