Thin-Film Electromechanical Optical Shutter

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nano- i mikrosistemnai͡a︡ tekhnika = Journal of "nano and microsystem technique." 2018-10, Vol.20 (10), p.625-632
Hauptverfasser:	Pyatishev, E.N., Enns, Y.B., Akulshin, Yu.D., Odintsov, A.V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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