The Manufacturing Technology and Development of Monolithic Integrated Circuits Based on Gallium Nitride

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nano- i mikrosistemnai͡a︡ tekhnika = Journal of "nano and microsystem technique." 2017-05, Vol.19 (5), p.273-293
Hauptverfasser:	Fedorov, Yu.V., Bugayev, A.S., Pavlov, A.Ju, Gnatyuk, D.L., Matveenko, O.S., Pavlov, V.Yu, Slapovskiy, D.N., Tomosh, K.N., Enushkina, E.N., Galiev, R.R., Maytama, M.V., Zuev, A.V., Krapuchin, D.V., Gamkrelidze, S.A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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