Investigation of the Influence of Cleanliness of the Substrate Surface on Formation and Transformation of the Silicon-Germanium Nanoclusters

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nano- i mikrosistemnai͡a︡ tekhnika = Journal of "nano and microsystem technique." 2017-03, Vol.19 (3), p.149-158
Hauptverfasser:	Kovalevsky, A. A., Strogova, A. S., Komar, O. M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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