Sub-10 nm Multi-Nano-Pillar Type Vertical MOSFET

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEICE transactions on electronics 2010, Vol.E93-C (5), p.557-562
Hauptverfasser:	ENDOH, Tetsuo, SAKUI, Koji, YASUDA, Yukio
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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