Electron-induced chemical transformation of vapor-phase synthesized hybrid resist materials for EUV and beyond EUV lithography

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	MRS advances 2024-12
Hauptverfasser:	Le, Dan N., Veyan, Jean-Francois, Chu, Thi Thu Huong, Wilson, Lucas A., Pham, Linh, Sung, Hyunah Daniela, Lee, Won-Il, Tiwale, Nikhil, Lee, Juyong, Choi, Rino, Nam, Chang-Yong, Kim, Jiyoung
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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