Optimization Design of MPCVD Single Crystal Diamond Growth Based on Plasma Diagnostics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Wu ji cai liao xue bao 2023-12, Vol.38 (12), p.1405
Hauptverfasser:	LI, Yicun, HAO, Xiaobin, DAI, Bing, WEN, Dongyue, ZHU, Jiaqi, GENG, Fangjuan, YUE, Weiping, LIN, Weiqun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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