Mechanisms of Dopant Depth Profile Modification During Mass Spectrometric Analysis of Multilayer Structure

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Ukrainian journal of physics (Kiev) 2015-06, Vol.60 (6), p.511-520
Hauptverfasser:	Efremov, A.A., Litovchenko, V.G., Melnik, V.P., Oberemok, O.S., Popov, V.G., Romanyuk, B.M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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