Optoelectronic Properties of Thin Hydrogenated α-Si1–xGex:H (x = 0÷1) Films Produced by Plasma Chemical Deposition Technique
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Veröffentlicht in: | Ukrainian journal of physics (Kiev) 2014-10, Vol.59 (10), p.959-966 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 2071-0186 2071-0194 |
DOI: | 10.15407/ujpe59.10.0959 |