Mass-spectrometric investigations of gas evolution from silicon in electron beam melting

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor physics, quantum electronics, and optoelectronics quantum electronics, and optoelectronics, 2006-04, Vol.9 (2), p.4-7
1. Verfasser:	Asnis, Yu. A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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