Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor physics, quantum electronics, and optoelectronics quantum electronics, and optoelectronics, 2014-09, Vol.17 (3), p.295-300
1. Verfasser:	Steblova, O.V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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