Anti-reflection coatings based on SnO2, SiO2, Si3N4 films for photodiodes operating in ultraviolet and visible spectral ranges
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Veröffentlicht in: | Semiconductor physics, quantum electronics, and optoelectronics quantum electronics, and optoelectronics, 2011-09, Vol.14 (3), p.298-301 |
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1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1560-8034 1605-6582 |
DOI: | 10.15407/spqeo14.03.298 |