Microwave induced structural-impurity ordering of transition region in Ta2O5 stacks on Si

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor physics, quantum electronics, and optoelectronics quantum electronics, and optoelectronics, 2008-10, Vol.11 (4), p.311-318
1. Verfasser: Kolyadina, E. Yu
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1560-8034
1605-6582
DOI:10.15407/spqeo11.04.311