Using ion beams for creation of nanostructures on the surface of high-stable materials

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor physics, quantum electronics, and optoelectronics quantum electronics, and optoelectronics, 2007-06, Vol.10 (1), p.27-29
1. Verfasser: Gorbov, I. V.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1560-8034
1605-6582
DOI:10.15407/spqeo10.01.027