Numerical Calculation of the Conditions for Photochemical Subnanopolishing of a Rough Quartz Surface under Illumination from Quartz Side

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Metallofizika i noveĭshie tekhnologii 2020-01, Vol.42 (1), p.105-121
Hauptverfasser:	Grigoruk, V. I., Kanevskii, V. I., Kolienov, S. O.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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