Determination of Conditions for Transition-Metals’ Deposition from Their Carbonyls by Means of the LCVD-Process Simulation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Metallofizika i noveĭshie tekhnologii 2016-09, Vol.36 (6), p.735-743
Hauptverfasser:	Kirpenko, K. V., Nedolya, A. V., Titov, I. M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; rus
Online-Zugang:	Volltext
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