Analyse des Übertragungsverhaltens von Differenzdrucksensoren durch dynamische DruckkalibrierungAnalyzing Frequency Response of Differential Pressure Sensors by Dynamic Pressure Calibration

Stand der Technik bei Differenzdrucksensoren für die Prozessmesstechnik ist ein Nennmessbereich von Δ =10 mbar bei einem statischen Nenndruck bis =160 bar. Dabei wird eine Messunsicherheit ≤2×10 angestrebt. Drucksensoren für raue Umgebungsbedingungen, deren Verformungskörper aus Silizium besteht, benötigen metallische Trennmembranen zur Medientrennung. Zum Schutz des Meßelementes vor zu hoher statischer und dynamischer Druckbelastung werden spezielle mechanische Überlastschutzvorrichtungen verwendet. Um zuverlässige Überlastschutzsysteme zu entwickeln, wird deren Frequenzcharakteristik experimentell durch eine neuartige dynamische Druckquelle ermittelt.