Uncertainty Consideration of the Coordinate System in Nanopositioning- and Nanomeasuring MachinesUnsicherheitsüberlegungen zum Koordinatensystem in Nano-Positionier- und Messmaschinen

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Technisches Messen 2009-05, Vol.76 (5), p.235-238
Hauptverfasser:	Füßl, Roland, Grünwald, Rainer, Rahneberg, Ilko, Kreutzer, Philipp
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	coordinate system cosine errors Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines uncertainty budget
Online-Zugang:	Volltext
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