Entwicklung nanomechanischer Messverfahren auf der Grundlage von MEMSDevelopment of Nanomechanical Measurement Methods on the Basis of MEMS

In jüngster Zeit haben mikroelektromechanische Systeme (MEMS) immer mehr Anwendungen in der Messtechnik in Form von Sensoren und Aktoren gefunden. Hier wird über die Entwicklung und Erprobung nanomechanischer Messverfahren und Messsysteme auf der Grundlage von MEMS berichtet. Im Mittelpunkt stehen e...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Technisches Messen 2009-06, Vol.76 (6), p.317-322
Hauptverfasser:	Li, Zhi, Gao, Sai, Herrmann, Konrad, Wolff, Helmut
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	electrostatic comb drive microelectromechanical system nanoindentor nanomechanical measurement method nanotensile test system
Online-Zugang:	Volltext
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