Entwicklung nanomechanischer Messverfahren auf der Grundlage von MEMSDevelopment of Nanomechanical Measurement Methods on the Basis of MEMS

In jüngster Zeit haben mikroelektromechanische Systeme (MEMS) immer mehr Anwendungen in der Messtechnik in Form von Sensoren und Aktoren gefunden. Hier wird über die Entwicklung und Erprobung nanomechanischer Messverfahren und Messsysteme auf der Grundlage von MEMS berichtet. Im Mittelpunkt stehen ein Nanokraftaktor, ein Nanoindentor, ein System für den Nanozugversuch und ein Rastersondenmikroskop, die alle in Form von MEMS ausgeführt sind. In dem Artikel werden das Prinzip dieser Messsysteme, das Design, die Herstellung und die Montage der MEMS sowie erste Ergebnisse der Erprobung und erreichte Leistungsparameter beschrieben.