Rastersondenmetrologie: Vom metrologischen Rasterkraftmikroskop zum Mikro- und NanokoordinatenmessgerätScanning Probe Metrology: From the Metrological SFM to the Micro/Nano CMM

Um den vielfältigen Anforderungen auf dem Gebiet der dimensionellen Mikro- und Nanometrologie gerecht zu werden, ist ein Koordinatenmessgerät (KMG) auf der Basis der Nanopositionier- und Nanomessmaschine (NMM) aufgebaut worden. In den vergangenen Jahren sind zwei Typen von taktilen Mikro-/Nanotastern entwickelt und an dieses Gerät angekoppelt worden. Im vorliegenden Beitrag wird über die Entwicklung des Mikro-/Nano-KMG berichtet. Es werden Details zum Design der wichtigsten Komponenten (Positioniersystem, Antastsystem, Software), zu Methoden der Taster-Charakterisierung sowie zu Messergebnissen an einem typischen Prüfkörper präsentiert.