Fusion multimodaler Daten am Beispiel eines Mikrolinsen-Arrays (Multimodal Data Fusion Exemplified on a Microlens Array)

Die Zusammenführung von Messinformationen aus verschiedenen Verfahren ermöglicht eine einheitliche und umfassende Charakterisierung von 3D-Geometrien und deren Kenngrößen. Es werden Methoden zur Verarbeitung, Vereinigung und Auswertung von multimodalen und multiskaligen Messdaten vorgestellt und anhand beispielhafter Messungen konkretisiert. Ein eingesetzter Probenkörper, basierend auf einem Mikrolinsenarray, wird mittels taktiler, konfokaler, interferometrischer Verfahren sowie Röntgentomographie und Streulicht untersucht. Anhand der resultierenden Messdatensätze werden Rauheitsspektren berechnet und diese wiederum zu einem gemeinsamen Rauheitsspektrum des Probenkörpers fusioniert. Nach der Registrierung der Datensätze mittels einer Pyramidenstruktur und Referenzmarken wird ein multimodaler Vergleich der verwendeten Messgeräte möglich. Merging information from different measurement procedures enables consistent and extensive characterization of 3D geometries and features. Methods of processing, merging, and analyzing multimodal measurement data are shown and used with exemplary measurements. The test specimen, based on a microlens array, is examined by means of atomic force and confocal microscopy, white-light interferometry, computed tomography, and angle-resolved scattering. The power spectral densities of selected data sets are evaluated and merged to a single power spectral density of the test specimen. The different data sets are registered using a reference structure with reference markers, thus enabling a multimodal comparison of the respective measurement instruments.