Trends bei der Entwicklung von Normalen für die Mikro- und Nanomesstechnik: Herausforderungen und Lösungsansätze (Trends in Development of Standards for Micro- and Nanometrology: Chances and Challenges)

Im Bereich der Mikrometer- und Nanometer-Messtechnik werden immer neue Normale benötigt und bereitgestellt. Bei deren Design, Herstellung und Einsatz werden zum Teil neue Wege beschritten, um den Anforderungen und Randbedingungen der Mikro- und Nanotechnik gerecht zu werden. Im Folgenden werden diese Aspekte und Entwicklungen anhand ausgewählter Beispiele verdeutlicht. Micro- and nano-metrology permanently need new standards. New approaches in design, production and application have to be developed, in order to fulfil the requirements and boundary conditions of micro- and nano-technology. In the following selected examples for these developments are presented.