Untersuchungen zur Messung von Mikrogeometrien mit großen taktilen KMGs und Anwendung bei einem Prüfkörper für Mikro-CT-Messsysteme (Investigations of the Measurement of Micro Geometries with Large Tactile CMMs and Application at a Micro-CT Artefact)

Es werden Untersuchungen beschrieben, um mit großen taktilen Koordinatenmessgeräten (KMG) Mikrogeometrien zu messen. Der Einfluss der Antastkraft wird experimentell untersucht und der Einfluss der Formabweichungen auf die Messunsicherheit ermittelt. Am Beispiel eines Prüfkörpers für Mikrocomputertomographiemesssysteme (μCT) werden die Ergebnisse taktiler Messungen mit unterschiedlichen KMGs sowie mit einem μCT-Messsystem verglichen. Investigations are described to measure micro-geometries by means of a large tactile coordinate measuring machine (CMM). The influence of the contacting force is investigated experimentally and the influence of form deviations on the measurement uncertainty is determined. At the example of a standard for micro computed tomography (μCT) the measurement results of different tactile CMMs and a μCT are compared.