Design & Simulation of MEMS Accelerometer Using COMSOL Multiphysics Software

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of engineering trends and technology 2015-02, Vol.20 (5), p.244-247
Hauptverfasser:	N, Divya, V, Jyothi, Kumar B, Rajesh
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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