Sidewall Defects Suppression of 620 nm AlGaInP-based Red µLED Devices Using HfO2 ALD Passivation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Optics letters 2024-11
Hauptverfasser: Prechatavanich, Natchanon, Wu, Ming-June, Yee, Chee Keong, Sutheebanjerd, Theeradech, Tseng, Yi-Tzu, Yang, Yun-Cheng, Lee, Chia-An, Lin, Kuan-Heng, Wu, Chao-Hsin
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0146-9592
1539-4794
DOI:10.1364/OL.543122