Sidewall Defects Suppression of 620 nm AlGaInP-based Red µLED Devices Using HfO2 ALD Passivation
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Veröffentlicht in: | Optics letters 2024-11 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0146-9592 1539-4794 |
DOI: | 10.1364/OL.543122 |