High precision 3D optical detection technology based on shear interferometry with arbitrarily shear amounts

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Optics express 2025-01
Hauptverfasser: Wang, YuQin, Li, LiuLiu, Liao, Penghao, Zhang, Rongzhu
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1094-4087
1094-4087
DOI:10.1364/OE.545586