Silicon slot fin waveguide on bonded double-SOI for a low-power accumulation modulator fabricated by an anisotropic wet etching technique

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Optics express 2018-12, Vol.26 (25), p.33180
Hauptverfasser:	Byers, James, Debnath, Kapil, Arimoto, Hideo, Husain, M. Khaled, Sotto, Moise, Li, Zuo, Liu, Fayong, Ibukuro, Kouta, Khokhar, Ali, Kiang, Kian, Boden, Stuart A., Thomson, David J., Reed, Graham T., Saito, Shinichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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