Low-loss polysilicon waveguides fabricated in an emulated high-volume electronics process

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Optics express 2012-03, Vol.20 (7), p.7243
Hauptverfasser:	Orcutt, Jason S., Tang, Sanh D., Kramer, Steve, Mehta, Karan, Li, Hanqing, Stojanović, Vladimir, Ram, Rajeev J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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