A 50nm spatial resolution EUV imaging–resolution dependence on object thickness and illumination bandwidth

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Optics express 2011-05, Vol.19 (10), p.9541
Hauptverfasser:	Wachulak, Przemyslaw W., Bartnik, Andrzej, Fiedorowicz, Henryk, Kostecki, Jerzy
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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