Configuring an electrostatic membrane mirror by least-squares fitting with analytically derived influence functions

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Optical Society of America. A, Optics, image science, and vision Optics, image science, and vision, 1986-11, Vol.3 (11), p.1833
Hauptverfasser:	Claflin, E. Scott, Bareket, Noah
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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