Optimization of Ta_2O_5 optical thin film deposited by radio frequency magnetron sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Optics 2016-07, Vol.55 (20), p.5353
Hauptverfasser:	Shakoury, R., Willey, Ronald R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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