Optical constants of TiN, amorphous SiO2 and SiN in the extreme ultraviolet range

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied optics (2004) 2024-11
Hauptverfasser:	Saadeh, Qais, Philipsen, Vicky, Meersschaut, Johan, Channam, Venkat, Kantre, Karim-Alexandros, Sokolov, Andrey, Kupper, Bettina, Wiesner, Thomas, Ocaña García, Danilo, Salami, Zanyar, Buchholz, Christian, Scholze, Frank, Soltwisch, Victor
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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