Low-loss GeO_2 optical waveguide fabrication using low deposition rate rf sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Optics 1982-12, Vol.21 (23), p.4324
Hauptverfasser:	Yi Yin, Zhong, Garside, B. K.
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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